"Техника функционального контроля параметров сбис на пластине"-2 часть



страница1/3
Дата25.06.2019
Размер9.18 Mb.
#110655
ТипАнализ
  1   2   3

Программное обеспечение OpenChoice® позволяет настроить собственную систему тестирования и измерений с помощью привычных инструментов анализа

Анализ и сетевые возможности программного обеспечения OpenChoice добавляют большую гибкость осциллографам Tektronix, совместимым с Windows XP. Использование быстрой встроенной шины позволяет перемещать данные осциллограмм непосредственно из осциллографа в приложения анализа на ПК со значительно большей скоростью по сравнению с передачей по протоколу GPIB. Использование стандартных протоколов Tektronix, например, интерфейс TekVISA™ и элементов управления ActiveX позволяет использовать приложения Windows для анализа данных и документирования. Использование драйверов инструмента IVI-COM обеспечивает простой обмен данными между осциллографом и программами, работающими на осциллографе или на внешнем ПК по протоколу GPIB, последовательным шинам данных и сетевым соединениям. Или, использование набора разработчика программного обеспечения (SDK) поможет создать специализированное программное обеспечение для автоматических, многоступенчатых процессов сбора и анализа осциллограмм с помощью Visual BASIC, C, C++, MATLAB, LabVIEW, LabWindows/CVI и других специальных сред разработки программных приложений (ADE).





 Максимальная вероятность регистрации трудно уловимых сбоев и других нечасто встречающихся событий в режиме регистрации FastAcq.

 Выделение сбоев длительностью до 200 пс.

 Выделение нарушений времени установки и удержания длительностью до 360 пс.

Режим быстрого сбора осциллограмм FastAcq ускоряет отладку, позволяя четко просмотреть дефекты

Использующая выделение цветом, запатентованная Tektronix технология регистрации DPX® позволяет захватывать более 250000 осциллограмм в секунду на всех четырех каналах одновременно, что значительно увеличивает вероятность обнаружения события сбоя. С помощью простого поворота ручки интенсивности можно просмотреть «мир, недоступный другим», так как частота события выделена цветом. Некоторые производители осциллографов заявляют высокие скорости регистрации осциллограмм на коротких отрезках времени, но только осциллографы серии DPO7000 с технологией DPX поддерживают высокую скорость сбора осциллограмм в течение длительного интервала: минуты, часы или даже дни, что позволяет быстро определить причину неисправностей, а затем применить режим запуска для выделения неисправности.

Возможность запуска по интересующим событиям представляет собой первостепенную функцию в процессе отладки и проверки сложных сигналов.

Для поиска системных ошибок или выделения участка сложного сигнала для дальнейшего анализа предназначена система запуска Tektronix’ Pinpoint™. В этой системе Pinpoint используется технология кремний на германии (SiGe), обеспечивающая чувствительность запуска по всей полосе пропускания измерительного устройства и позволяющая выбрать любой тип запуска в событиях А и В. Система позволяет регистрировать очень кратковременные глитчи с малым джиттером запуска. Другие системы запуска предлагают несколько типов запуска только по одному событию (событие А), выбор запуска с задержкой (событие В) ограничен запуском по типу фронта и часто не предоставляет возможности восстановления последовательности запуска в случае, если событие В не произошло. Система запуска Pinpoint предоставляет полный набор дополнительных типов запуска по событиям А и В с функцией восстановления к началу последовательности запуска через указанное время, по заданному состоянию или переходу, что обеспечивает регистрацию событий даже в наиболее сложных сигналах. Другие осциллографы, как правило, имеют менее 20 комбинаций запуска. Система запуска Pinpoint предлагает более 1400 комбинаций. Дополнительный вход запуска теперь позволяет использовать все возможности системы запуска даже вместе с пробником.





 Возможность простого запуска по определенному адресу в шине I2C.


 Запуск по аналоговому HDTV сигналу трехуровневой синхронизации и проверка гасящего интервала строк.

 Запуск по образцу в последовательных шинах для отладки проблем, связанных с комбинациями данных.

Запуск по аналоговому сигналу HDTV/EDTV для появляющихся стандартов 1080i, 1080p, 720p и 480p, а также стандартный запуск по видеосигналу на любую строку в поле, на все строки, на все поля, на четные или нечетные поля для видеосигналов NTSC, SECAM и PAL. Кроме того, для упрощения измерений и визуального контроля можно установить координатную сетку IRE или сетку в милливольтах. Данная функция является стандартной.

Для отладки систем с последовательной архитектурой передачи данных используется опция запуска по образцу последовательного потока данных для потоков данных с кодированием бита без возврата к нулю (NRZ) с использованием встроенной функции восстановления тактовой частоты (только в моделях DPO7254 и DPO7354). Прибор может восстановить тактовый сигнал, определить переходы, декодировать символы и другие данные протокола. С помощью комбинации запуска на последовательные потоки данных и программного обеспечения декодировки протокола, Вы можете просмотреть декодированную зарегистрированную последовательность битов в виде слов (для 8/10-битных и других потоков данных в последовательных шинах) или можно задать требуемые закодированные слова для захвата с помощью запуска по образцу в последовательной шине. Этот запуск по образцу в последовательной шине применяется для последовательного стандарта NRZ со скороятми передачи данных вплоть до 1.25 Гбит/c.



Практическое применение: Разработка цифровых устройств.

По мере роста быстродействия систем и уменьшения их размеров разработчикам схем становится все труднее обеспечить идеальные цифровые характеристики сигнала. Высокое быстродействие и плотная упаковка компонентов устройств приводят к ряду нежелательных электрических явлений, неблагоприятно влияющих на работу схемы. В конструировании быстродействующих устройств большую роль играют размещение компонентов, разводка дорожек, наличие помех и малых изменений сигнала. Например, в схемах, работающих на частотах гигагерцевого диапазона, индуктивность проводящих дорожек оказывает значительное влияние на работу устройства. Разработчикам необходимо быстро обнаруживать и анализировать помехи, нарушения времени установки и фиксации, выбросы, метастабильные состояния, конфликты на шине, нестабильность фронтов и другие неполадки. Наблюдение высокочастотногоцифрового сигнала и просмотр его в аналоговом представлении позволяет упростить поиск многих неполадок цифровых устройств.

Причина неполадки, проявляющейся в виде смещенного цифрового импульса, может скрываться в его аналоговых характеристиках. Аналоговые характеристики могут вызвать цифровые сбои, когда сигналы с низкой амплитудой преобразуются в неверные логические состояния или когда импульсы сдвигаются во времени из-за затянутого фронта нарастания. Просмотр потока цифровых импульсов одновременно с аналоговым представлением этих импульсов - первый шаг при поиске подобных неисправностей. Цифровые осциллографы, например приборы серии DPO4000 или DPO7000, используемые в качестве средств отладки позволяют устранять неисправности при разработке быстродействующих встроенных систем. Следует иметь в виду, что при подробном просмотре вид сигналов может сильно измениться; точность измерений при этом повышается.

Прослеживание помех.

Помеха в цифровой системе - это любой нежелательный сигнал. Влияние линий передачи, колебания в шине заземления, отражения, перекрестные помехи, «звон», распространение волн - это проблемы помех, вызванные переходом к более компактным и быстродействующим схемам. Время нарастания логическихсигналов уменьшается (скорость нарастания несколько В/нс), и инженерам часто приходится отлаживать устройства с временем нарастания сигнала менее 1 нс.



Эффекты линии передачи сигнала.

Соединение рассматривается как линия передачи в том случае, когда распространение сигнала по линии и обратно занимает больше времени, чем завершение перехода (когда 2Tprop > Trise). Для типичной платы из материала FR4 скорость распространения сигнала примерно равна 15 см/нс. При времени нарастания сигнала 1 нс эффекты длинной линии проявляются на любой дорожке длиннее 7 см. Сигналы на передающем и приемном концах линии часто различаются из-за отражений и «звона». При измерении таких быстрых сигналов важно разместить пробник на приемном конце линии (Схема 1).





Схема 1. Схема с эквивалентом передающей линии иллюстрирует возникновение отражений сигнала вследствие рассогласования импедансов

Звон» и отражения.

При недостаточном демпфировании резонансного контура в нем возникает «звон» и выбросы. Недостаточное шунтирование цепей питания, подсоединение к устройству длинных проводов питания и заземления и неудачное подсоединение пробника могут вызвать «звон» и выбросы. Отражения в несогласованных или незаглушенных линиях могут вызвать выбросы и другие нарушения формы фронта.

Эти нарушения могут вызвать нежелательные изменения состояния или неопределенность во времени. В некоторых цифровых схемах нужные события повторяются редко. Цифровой осциллограф с соответствующей полосой пропускания и частотой дискретизации свободно захватывает эти неповторяющиеся события в реальном масштабе времени. Вид пробников и способ их подключения влияют на качество измерения. Большая емкостная нагрузка может замедлить нарастание фронтов сигнала и скрыть некоторые неполадки, создавая вместо них другие. !рикосновение пробника к схеме может привести к исчезновению некоторых признаков. Индуктивность проводника заземления пробника и входная емкость пробника образуют последовательный колебательный контур; если резонансная частота этого контура не превышает полосы частот осциллографа, влияние контура проявляется в виде «звона».





Рис.1. На верхней осциллограмме (канал 1) виден нарастающий фронт длительностью 1,3 нс, захваченный осциллографом DPO4000 при полосе 1 нижняя осциллограмма (канал 2) идентична верхней, но здесь полоса пропускания ограничена до 250 Гц; такое изображение появилось бы на 250-Гц осциллографе. Отражение сигнала маскируется из-за недостаточно широкой полосы пропускания. (Заметим, что недостаточная ширина полосы пропускания приводит к погрешностям измерения времени нарастания сигнала.)
Чтобы увеличить резонансную частоту, необходимо укоротить проводник заземления и уменьшить входную емкость пробника. Емкостная нагрузка обычных пробников может достигать 10 - 15 пФ. У активных пробников это значение меньше. Например, входная емкость активного пробника TekVPI™ с полосой пропускания 2,5 ГГц <составляет всего 0,8 пФ. При такой емкости «звон» уменьшается, что позволяет удлинить проводники заземления. Рис. 1 иллюстрирует значение полосы пропускания и частоты дискретизации для просмотра отражений. На сигнале в области нарастания перехода имеется отражение. Такой дефект тактового сигнала может вызвать неопределенность во времени (нестабильность фронтов) тактируемого выхода. Верхняя осциллограмма (канал 1) зарегистрирована осциллографом DPO4000 при частоте дискретизации 5 Гвыб/с и полосе пропускания 1 ГГц. Для имитации результата измерения осциллографом с относительно низкими характеристиками нижняя осциллограмма (канал 2) зарегистрирована при частоте выборки 5 Гвыб/с с фильтром 250 Гц. Чтобы обнаружить нарушения на логическом переходе с помощью цифрового осциллографа, необходимо обеспечить соответствующие значения частоты дискретизации и полосы пропускания.

Колебания в шине заземления.

Колебания в шине заземления - это смещение опорного уровня заземления, вызванное токовым выбросом в плоскости заземления. При синхронном переключении нескольких выходов устройства на заземление может поступать значительный переходной ток. Падение напряжения на соединительных проводниках, проводе заземления и пути возврата тока может вызвать колебание потенциала заземления внутри устройства относительно заземления системы. «Звон» или выбросы на переключаемых и непереключаемых выходах могут вызвать нежелательные логические переходы в других устройствах. Колебания в шине заземления могут даже вызвать сброс данных в устройстве. На рис. 2 в канале 1 зарегистрирован сигнал с одного из выходов счетверенной микросхемы логического A 74LVC00. На один из входов каждого из трех элементов A счетверенной микросхемы подано напряжение питания +3,3 В, а один вход четвертого элемента A заземлен. На оставшиеся четыре входа микросхемы подан сигнал частотой 48 КГц. На канал 2 подается сигнал четвертого логического элемента, который не переключается. Из-за колебаний в шине заземления на канале 2 появляются помехи размахом немного более одного вольта. Анализ сигнала в канале 2 показывает, почему колебания, соответствующие ниспадающему фронту сигнала в канале 1 больше колебаний, соответствующих нарастающему фронту в этом канале.



Выход элемента A, один вход которого подключен к земле, соединен с заземлением практически напрямую, если не считать небольшой эквивалентной индуктивности. При переключении выходов остальных элементов A через них протекают токи, наводящие ток через эквивалентную индуктивность на выходе непереключающегося элемента A; поэтому на канале 2 появляется больший выброс. Заметим, что если элемент A с заземленным входом подсоединить к напряжению питания, больший выброс будет соответствовать нарастающему фронту на канале 1.



Рис.2. Колебания в шине заземления при переключении выхода на канале 1

Перекрестные помехи.

Этот вид помех часто встречается в цифровых устройствах там, где линии асинхронных сигналов проходят рядом с линиями тактирующих сигналов. !ерекрестные помехи вызывают ложные логические переходы или затягивание фронтов тактовых импульсов, что приводит к ошибкам синхронизации или нарушениям времени установления и удержания. Положение ухудшается при уменьшении времени нарастания. Слишком длинный провод заземления может вызвать появление ложных перекрестных помех, поскольку длинные провода образуют большие контуры. При наблюдении перекрестных помех на осциллографе необходимо учитывать число каналов, частоту дискретизации и ширину полосы. Для регистрации на цифровом осциллографе сигнала в реальном масштабе времени необходимо установить по всем каналам соответствующую частоту дискретизации. Наример, если имеется связь (емкостная или индуктивная) линии сигнала с быстрыми перепадами на схемной плате с ближайшими сигнальными проводниками, появляются перекрестные помехи. При отладке следует принимать во внимание три вида перекрестных помех: индуктивные перекрестные помехи, синфазные помехи и дифференциальные помехи. Индуктивные перекрестные помехи возникают, когда изменяется уровень сигнала, распространяющегося по линии (источнику помех); при этом возникает токовый выброс, порождающий магнитное поле. Этот импульс магнитного поля в свою очередь наводит токовый выброс в соседней линии (приемнике помех). При трансформаторной связи возникает два выброса напряжения противоположной полярности в прямом направлении и положительные выбросы в обратном направлении. синфазные помехи - это сумма однополярных напряжений в линии-приемнике, распространяющихся в направлении источника помехи. Она отображается в виде широкого импульса малой амплитуды, ширина которого соотносится с длиной линии. Амплитуда синфазной помехи не зависит от времени нарастания фронта импульса источника помехи. Она зависит от соотношения импедансов. дифференциальная помеха - это сумма двух импульсов противоположной полярности, зависящих от соотношения емкости и индуктивности. Распространяется в сторону первичного источника помехи. Эта помеха наблюдается в конце линии-приемника помехи в виде узкого выброса, длительность которого равна длительности фронта нарастания импульса в линии-источнике помехи. Bем короче время нарастания фронта в источнике, тем круче фронт нарастания, больше амплитуда импульса помехи и меньше его длительность. Величина дифференциальной помехи зависит от длины сдвоенной линии. Поскольку перекрестная помеха распространяется вместе с фронтом импульса источника помехи, энергия дифференциальной помехи в линии-приемнике оказывается больше. Рис. 3. пример фиксации перекрестной помехи с помощью синхронизации по фронту на осциллографе DPO4000 с полосой пропускания 1 ГГц. /ысокочастотные импульсы в одном из нескольких параллельных проводников с нагрузкой 50 Ом (канал 1) порождают сильное излучение. Этот источник помехи создает наводки в соседних проводниках. Наводки ясно видны на каналах 2 и 3, подсоединенных к проводникам, ближайшим к источнику помехи. По мере удаления от проводника-источника уровень перекрестных помех уменьшается. Это видно по амплитуде помехи в канале 4, равной 32 мс; этот канал подсоединен к проводнику-приемнику, наиболее удаленному от источника помехи.



Рис.3. Пример фиксации перекрестной помехи с помощью синхронизации по фронту на осциллографе DPO4000 с полосой пропускания 1 ГГц. Высокочастотные импульсы в одном из нескольких параллельных проводников с нагрузкой 50 Ом (канал 1) порождают сильное излучение. Этот источник помехи создает наводки в соседних проводниках. Наводки ясно видны на каналах 2 и 3, подсоединенных к проводникам, ближайшим к источнику помехи. По мере удаления от проводника-источника уровень перекрестных помех уменьшается. Это видно по амплитуде помехи в канале 4, равной 32 мВ; этот канал подсоединен к проводнику-приемнику, наиболее удаленному от источника помехи
Поиск нарушений времени установки и фиксации.

В цифровых системах имеются тактируемые логические устройства, от триггеров до микропроцессоров. Время установки и фиксации для каждого из этих устройств задается производителем. С увеличением быстродействия цифровых систем уменьшается время установления данных перед приходом тактирующего сигнала. Время установки - это интервал перед приходом фронта тактирующего сигнала, в течение которого входной сигнал должен быть стабильным (достоверным). Время фиксации - интервал после прихода фронта тактирующего импульса, на котором данные на входе устройства должны оставаться стабильными; в этом случае данные на выходе устройства будут достоверными. См. временную диаграмму установки и фиксации на схеме 2. а рис. 4 время установки отсчитывается между точкой 1 на осциллограмме данных и точкой 2 на осциллограмме тактового сигнала. #инимальное время установки, заданное производителем, равно 5 нс. Время фиксации отсчитывается между точкой B на тактовом сигнале и точкой C на осциллограмме данных. Минимально допустимое время фиксации равно 4 нс. Cсли сигнал изменяется в течение времени установки и фиксации, появляется сбой, то есть нарушение времени установки и фиксации. При наличии перекрестных помех и отражений в тактовом сигнале и сигнале данных целостность этих сигналов нарушается и появляются указанные нарушения. По мере увеличения быстродействия цифровых устройств время установки и фиксации уменьшается. Это затрудняет отладку временных соотношений. При нарушении времени установки и фиксации на выходе устройства могут появиться непредсказуемые выбросы, либо состояние выхода может вообще не измениться. Синхронизация цифрового осциллографа по установке/фиксации позволяет синхронизировать прибор по значениям времени установки и фиксации между тактовым сигналом и сигналом данных, поступающими на входы двух каналов осциллографа. При просмотре этих сигналов на цифровом осциллографе можно выполнить точные измерения нарушений времени установки и фиксации.





Схема 2. На этой схеме дано определение времени установки (Tустановки) и времени фиксации (Tфиксации) для тактируемой логической схемы. Время установки измеряется между точками 1 и 2. Время фиксации измеряется между точками 2 и 3
Устранение конфликтов на шине.

Такие устройства как цифровые процессоры сигналов (DSP), а также схемы ввода-вывода обычно обмениваются информацией с окружающими устройствами по низкоскоростным и высокоскоростным последовательным шинам. Конфликт на шине - один из примеров, показывающих, что отладка последовательных шин сложнее, чем отладка параллельных. На схеме 4 изображены стандартная конфигурация и протокол низкоскоростной шины I2C, разработанной компанией Philips Semiconductor. В большинстве цифровых осциллографов, например в приборах серий DPO4000 и DPO7000, имеется синхронизация по сочетанию логических сигналов, называемая синхронизацией по модели или по состоянию. Рис. 4 иллюстрирует процедуру побитового декодирования последовательной шины I2C; сначала необходимо найти переход, обозначающий начало пакета, затем первые семь битов первого байта, составляющие адрес, затем найти восьмой бит первого байта, определяющий запись-считывание, и декодировать до восьми байт данных. Aз-за коррекции битов некоторые последовательные шины, например шина CAN, вообще не поддаются декодированию вручную. Дополнительные возможности синхронизации осциллографа

DPO4000 по шинам I2C, SPI и CAN позволяют устранять конфликты, характерные для этих шин, при скоростях обмена до 10 Мбит/с. Aспользуя эти способы синхронизации, можно настраивать нужные сочетания сигналов на шине. Например, пусть требуется синхронизироваться на шине I2C по началу или концу пакета, по типу кадра (данные, дистанционный, ошибка или перегрузка), по стандартному или расширенному идентификатору и даже по отсутствию подтверждения. Осциллограф DPO4000 позволяет синхронизироваться по наиболее распространенной информации пакетов и выполнять ее поиск.


Рис. 4. Отображение на цифровом осциллографе сигналов шины I2C для ручного декодирования.
Адрес равен 76, операция - чтение
Модуль 3. Техника измерений на типовой зондовой установке
Этот модуль описывает каждый из шагов использования для типичной зондовой установки и дает общее представление об инструментах необходимых для каждого шага. Для более исчерпывающего понимания каждой из черт Nucleus, пожалуйста, просмотри нужную главу или часть.

Создание Wafer Map. Инструмент Nucleus Wafer Map используется для создания карты которая отображает реальную пластину. По умолчанию, окно Wafer Map уже должно быть на вашем рабочем столе.

Включение\выключение Wafer Map происходит посредством панели инструментов или посредством меню Tools.

Загрузка Wafer.

Начните с открытия окон Wafer Map, Status Window и Motion Control.


  1. Нажмите на кнопку Wafer Load для установки столика в положение загрузки. Заметьте, что красное перекрестье смещается вверх в Wafer Map, когда столик сдвинулся к боку MicroChamber двери загрузки, и окно Status отображает положение держателя.




  1. Откройте дверь загрузки

  2. Разблокируйте столик

  3. Вытащите столик



  1. Поместите пластину на центр столика

  2. Установите переключатель 75mm vacuum в положение ON.



  1. В панели инструментов Nucleus, переключите вакуум из OFF в ON .

Замечание.

Станции Alessi 6100 серий не имеют программного контроля вакуума.



  1. Вставьте столик обратно в MicroСhamper.

  2. Закройте столик.



  1. Закройте дверь в MicroСhamper.

Wafer Map Wizard.

Использование Wafer Map Wizard легкий способ создать карту пластины.

Эти шесть шагов операций создадут карту пластины, которая может быть модифицирована позднее, если необходимо, отдельно каждым инструментом входящим в состав мастера. Созданная карта пластины визуально отображает нашу реальную пластину.

Нажмите на панели инструментов или выберите Wafer Map в меню Tools .

Из окна Wafer Map, выберите File> Wizard для отображения первого шага.

Шаг 1: Установка диаметра пластины.



  1. Введите диаметр пластины и качественный зонный диаметр под заголовками Diameter Wafer и Quality Area Diameter в окне Wizard.



  1. Введите информацию о карте пластины в поле Label. Если имя не введено, то отображаться будет имя Default Wafer Map. Имя Test200 использовано для этого примера.

  2. Нажмите Next для перехода к следующему шагу

Шаг 2:Выбор профиля и ориентации.

  1. Выберете Flat или Notch, согласно профилю пластины.



  1. Если выбран Flat, введите длину поверхности в поле Primary flat length.Если выбран Notch, введите диаметр выемки. По умолчанию ориентация 0 градусов, положение любой из полей или выемок - основа карты пластины.

  2. Заметьте, что информация вписанная а Wizard на преведущем шаге отображается в нижнем левом углу окна.

  3. Нажмите Next для перехода к следующему шагу

Шаг 3: Выбор размеров кристалла.

Общий размер сетки равен кристалл плюс промежуток.Размер кристалла отображается в микронах.

Замечание.

Если вы не знаете размер кристалла используйте Measure Distance Tool.





  1. Введите х и у значение размеров кристаллов сетки в поля die x и die y соответственно.

  2. Введите х и у значение размеров промежутков сетки в поля street x и street y соответственно.

  3. Теперь когда сетка физического кристалла отображается правильно, следующим шагом ,будет удаление любых кристаллов не соответствующих физической пластине.

  4. Нажмите Next для перехода к следующему шагу

Инструмент Measure Distance

Distance Tool используется для измерения размеров кристаллов на пластине. Эта ультилита позволяет сканировать ширину любой ячейки и правильно отображать размер кристалла. Инструкция отображающая каждый шаг находится вверху окна.

Из основного меню Nucleus выберите Tools > Measure Distance



  1. Введите примерный размер кристалла в поле ультилиты

  2. Для перемещение в нужную область по кристаллу по пластине используется окно Motion Control или джойстик.

  3. Нажмите на кнопке Start

  4. Переместитесь в ту же самую область на различных кристаллах( переместитесь по крайне мере на одно строку и один столбец). Поскольку столик перемещается в поле окна будет отобраться как далеко столик переместился.

  5. Нажмите кнопку End. Размеры Строки/Столбца будут просчитаны и показаны.

  6. Из рассчитанных тобой данных в Distance Tool, введите х и у реальные значения размеров кристаллов в поле die x и die y на Шаг 3 для Wizard.

Шаг 4: Выбор положения кристалла.

  1. Выберите положение кристалла нажав на кристалле или ты можешь использовать Select All чтобы выбрать все кристаллы.



  1. Выберите опции отображение карты пластины

  • Отображать пластину полностью, включая кристаллы лежащие на краю, выберите Show Partial Die( включено по умолчанию)

  • Отображать только те кристаллы что полностью лежат на карте пластины, отключите Show Partial Die.

  1. Нажмите Next для перехода к следующему шагу

Замечание.

Карта пластины примерна. Некоторые кристаллы могут оказаться обрезанными из-за неточности сетки карты.

Шаг 5: Установка ссылок на позиции и метки тестовых участков.

Этим шагом ты устанавливаешь ссылки на позиции, начало осей и координатные оси в добавленных отмеченных тестовых участках отдельно или всех кристаллах на пластине.



  1. Set Reference Position:

    • Установка точек на которые все пермещения на пластине будут ссылаться, нажми Set Reference Position и кликни на известное место в любой части пластины.R отмечает ссылку позиции, будет отображать выбранную позицию.

    • Выберите область для начала координат на карте пластине, нажмите Set Reference Position и выберите оси координат. В этом примере координаты 0,0 выбраны Reference кристалла началом координат.



  1. Для определения координатных стрелок направлений используется следующее меню Define positive X иDefine positive Y. В этом примере оси х направлена направо ось у вверх. ( Иконки осей в углу окна пластины отображают эти направления).

  2. Выберите все кристаллы как тестовые участки карты пластины, выбрав Mark All.Для удаления кристаллов кликнув мышью один раз на каждом выбранном для удаления кристалле. Единичный клик на кристалле ввернет отменит выбор кристалла.

  3. Нажмите Next для перехода к следующему шагу

Шаг 6: Определение последовательности измерений.

Этот шаг позволит тебе установить направление для последовательности измерений.



  1. Для создания направления в котором пойдут измерения, выберите Horizontal, Vertical, Bi­directional/Horizontal, Bi-directional/Vertical в окне Specify the testing sequence portion.

  2. Выберите слева на право или справа налево и сверху вниз или снизу вверх обоих параметров Horizontal и Vertical.Направление может будет контролировать кнопкой TRY.

  3. Нажмите Finish для завершения установки каты полупроводниковой пластины.

Hard Aligning the Wafer

Когда пластина центрирована в окне Video, она готова к выравниванию.

Выравнивание компенсирует внешний thetа который возникает когда пластина помещается на держатель.

Замечание.

Предпочтителен метод выравнивания на моторизированных theta станциях (S300, R61 и Summit 12000) -использование инструмента 2-Point Align. Следующие процедуры всегда используются на ручных станциях Summit, и 2-Point Align не доступен. Смотри Alignment Tools на странице 73 с описанием методов выравнивания.



  1. Из Toolbar нажми .Ты можешь также использовать этот инструмент выбрав Tools >Align из меню.

  2. Нажми Hard Align.



  1. Установи Scan Method в Wait at End.

  2. Убедись что видеокамера сфокусирована над пластиной и что ты над промежутком.



  1. Нажми Start Align и смотри на монитор. Пластина перемещается к левому краю. Вероятно что это перемещение не будет параллельно промежутки. Если это так ,быстро нажми No.



  1. Вернись к центру пластины.

  2. Убедись что ты еще над промежутком и нажми Start Align. Пока пластина движется влево, theta выравнивается. Когда движение остановится, продолжи выравнивание theta если это необходимо.

  3. Нажми Yes когда ты удовлетворен выравниванием влево.

  4. Повтори выравнивание theta вправо, до тех пор пока столик не переместится к следующему промежутку.





  1. Нажми Stop Align в окне Hard Align по окончанию выравнивания.

Setting Contact Position

  1. Передвигай кончики зондов на пластине для нормального контакта.



  1. Установи текущую позицию в Z правым кликом на кнопке Contact и кликни Set to Current Position.

Для движение столика может использоваться Z-Axis.


Литература:

  1. Болтон У. Карманный справочник инженера-метролога. - М: Издательский дом «Додэка-ХХ1», 2002. - 384 с.

  2. Димов Ю.В. Метрология, стандартизация и сертификация, 2-е издание, 2005.

  3. Информационно-измерительная техника и технологии/ Под. ред. Раннева Г.Г. 2002.


Материалы к лабораторному практикуму
Лабораторная работа №1. Знакомство с системой цифрового фосфора и режимами
синхронизации DPO4000 применительно к цифровым сигналам

Введение.

Многие приложения в области проектирования и тестирования цифровых систем требуют от осциллографа возможности легко выявлять и захватывать специальные сигналы, даже если те происходят редко. Хотя сбор данных в режиме длинной памяти может иногда помочь в захвате таких событий, однако, найти интересующее событие в большом объеме собранных данных - сама по себе трудная задача, да и не стоит забывать о «мертвом» времени цифрового осциллографа, на которое приходится в процентах большая часть времени наблюдения сигнала. Значительно более эффективно - настроить систему синхронизации, которая, обнаружив необходимое событие, запустит по нему развертку.

Цель практикума: Предлагается поработать с системой цифрового фосфора и уникальными режимами запуска Длительности импульса, по РАНТУ и по скорости нарастания/спада фронта системы расширенной синхронизации для DPO4000.

Входной сигнал: На вход канала 1 подключена демо-плата InstaVu TEKTRONIX - сигнал «SQ. WAVE», производящая сигнал амплитудой 5 Vpp, частотой 500 kHz в виде прямоугольного меандра с редкими случайными аномалиями, происходящими примерно 1 раз в секунду



Задача № 1. Регистрация случайных аномалий в сигнале с помощью режима быстрого сбора данных (цифрового фосфора) в режиме бесконечной персистенции.

Установить осциллограф в положение DEFAULT (заводские настройки):

В нижнем текстовом меню нажать кнопку MISC (прочее)



В текстовом подменю MISCELLANEOUS нажать кнопку DEFAULT (заводские установки)







Каталог: download.html?file=file


Поделитесь с Вашими друзьями:
  1   2   3




База данных защищена авторским правом ©vossta.ru 2023
обратиться к администрации

    Главная страница